美國PIE 等離子清潔、刻蝕、灰化、表面改性處理儀_美國PIE 等離子清潔、刻蝕、灰化、表面改性處理儀

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美國PIE 等離子清潔、刻蝕、灰化、表面改性處理儀

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美國PIE_Tergeo等離子清潔儀

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團(tuán)，獲得表面親水性，提高鍵合強(qiáng)度和可印刷性，促進(jìn)醫(yī)療器械生物相容性。可集成浸入式和遠(yuǎn)程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。

美國PIE EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔儀

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程等離子清潔儀。遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會擴(kuò)散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清潔儀可同時清潔真空系統(tǒng)和樣品！

美國PIE多用途樣品清潔及儲存腔室

通過選配外部附件如：EM-KLEEN遠(yuǎn)程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器，多用途腔室可配置成不同的應(yīng)用。EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫氣產(chǎn)生氧和氫自由基，用于樣品清潔和表面活化。如果腔室配備了TEM樣品桿適配器，則可接受和清潔來自Thermo Fisher、JEOL和Hitachi的共六個TEM樣品桿，然后它還可以用作樣品桿真空儲存站。當(dāng)然，EM-KLEEN等離子源也可被取下并安裝到SEM、FIB或XPS等真空腔室上